如今新的《大氣汙染防治法》、《大氣汙染防治行動計劃》、《揮發性有機物(VOCs)汙染防治技術政策》等法規的陸續頒布，我國對VOCs處理標準和力度逐步增強。剝離液、稀釋液等其造成的有機廢氣具有大風量、低濃度芯片製造業因為大量采用有機溶液作為清洗劑、光刻膠等特點。

　　為了更好地有效地處理此類VOCs廢氣，沸石轉輪吸附濃縮法成為了行之有效的優選處理方案。沸石轉輪采用沸石分子篩作為吸附劑，具有耐高溫、較高機械強度等性能，可以滿足連續吸咐、脫附的需求。針對不同的VOCs成份，應有目的性地選用吸附效率高的沸石分子篩作為吸附劑，才能達到理想的、高效的VOCs處理效果。

　　因此，文中以芯片廠為調查樣本，研究其VOCs廢氣成份，為其沸石轉輪係統的沸石分子篩選擇提供值得借鑒的方案和建議。現階段芯片製造業涉及揮發性有機物包括：異丙醇、丙酮、二甘醇胺、二甲基乙酰胺、丙二醇單甲醚乙酸酯(PMG)、乙二酸、醋酸等。

　　研究人員對沸石吸附劑對芯片製造業有機廢氣的吸附等溫線研究結果顯示：沸石分子篩對該行業有機廢氣具有較高的吸附容量和吸附效率，屬於有利的吸附等溫線。此外，沸石分子篩還具有耐高溫、機械強度高等性能，在處理VOCs廢氣方麵具有較高的綜合性能。其中，異丙醇是芯片生產製造過程中最常用的清洗劑；PMG是稀釋劑、光刻膠等物質的主要成分。兩者的年消耗量巨大，僅上海某芯片工廠，這2種物質的年用量以百噸計，是其VOCs有機廢氣中的主要汙染物。
　　廣東久久天天躁狠狠躁夜夜環境科技有限公司生產的沸石轉輪催化燃燒裝置吸附選擇性強，運行成本低，使用壽命長，維護成本低，吸附脫附可連續運行，脫附達到能循環狀態節約能耗等優點。預處理過濾效率大於99%，淨化效率高於95%，整個裝置采用模組化設計，滿足了小空間的需求，且提供持續及無人化的操控模式。搭載了久久天天躁狠狠躁夜夜雲服務係統，實時遠程監控設備的運行狀況，采集並記錄設備的運行數據，有專業人員對數據進行分析，共享給用戶，讓用戶隨時了解設備運行狀況，並提出合理的運行建議，必要時主動迅速的為用戶提供服務，及時為客戶解決問題。